真空チャンバー


チャンバー設計で気をつけたところ

◇チャンバー内面にM4のねじ穴を100mm間隔であけた。
◇チャンバー台の下部は標準ラックと同じ間隔にし、ラックを固定用螺穴も あけてもらった。
◇覗き窓をつけた。
◇X線ビームの軸をチャンバー中心より上にした。これは、チャンバー内にθ-2θ ステージをいれ、この上にCCDをマウントしても、光軸がCCD面にくるように。 (チャンバー底から光軸までの距離が十分ないとステージを特注する必要がでてくる)
◇扉を横に取り付け、左右に開くようにした。
◇今は、ビームの入射口が下の写真の左から右にいくようにセットアップしてありますが、写真の裏から表(またはその逆)にもできるように、フランジを作った。さらに、 排気装置もチャンバーと切り離すことができ、ビームの邪魔にならない箇所へ移動可能にした。

チャンバーを構成している部品

真空槽自身

排気装置

真空計

コンパクトフルレンジ・ゲージ PKR251

θ-2θステージ

RA20-21

真空用コネクタ

コネクタの抜き差し時に真空用コネクターにストレスが掛からないように、もう一段コネクタをつける。

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